Hiệu suất của vi bơm được phân tích dựa trên ảnh hưởng của các tham số như điện áp kích thích, độ dày và kích thước của màng áp điện PZT cũng như màng silicon. Kết quả cho thấy độ dịch chuyển của màng dao động tăng khi điện áp kích thích tăng và khi độ dày màng áp điện giảm; kích thước màng tồn tại giá trị tối ưu cho độ dịch chuyển lớn nhất. Các kết quả mô phỏng cung cấp cơ sở khoa học cho việc tính toán, thiết kế và chế tạo bộ điều khiển cũng như tối ưu cấu trúc vi bơm sử dụng vật liệu áp điện.


Thêm một bài đánh giá
Xếp hạng
Không có bài đánh giá nào!