Name: Sai số phi tuyến chu kỳ trong giao thoa kế heterodyne sửa đổi trong phép đo dịch chuyển nhỏ
Brand: Đề tài - Dự án
SKU: WW-2443-LC2L3
Availability: InStock

Sai số phi tuyến chu kỳ trong giao thoa kế heterodyne sửa đổi trong phép đo dịch chuyển nhỏ

Tác giả: Châu Thiện Ngọc

Định dạng tài liệu: Đề tài - Dự án

Nghiên cứu phân tích sai số phi tuyến chu kỳ trong hệ giao thoa kế heterodyne được sử dụng cho phép đo dịch chuyển rất nhỏ với độ chính xác cao trong các lĩnh vực như gia công siêu chính xác, công nghệ nano và bán dẫn.

Phí Download:

Miễn phí

Tổng quan về tài liệu
Đánh giá

Công trình đề xuất cấu hình giao thoa kế Michelson sửa đổi với hai nhánh tách biệt nhằm giảm sai số phi tuyến và nâng cao độ chính xác đo. Phương pháp gán tuyến tính được áp dụng để đánh giá sai số và so sánh kết quả đo. Kết quả cho thấy sai số phi tuyến đạt khoảng 20 nm trong phạm vi đo 2 µm (xấp xỉ 1%). Thành phần phi tuyến λ/2 và λ/4 lần lượt đạt 9,91 và 4,05 nm/Hz¹ᐟ². Hệ đo đạt độ nhạy dưới 0,01 nm/Hz¹ᐟ² ở tần số trên 10 Hz, cho thấy khả năng đo dịch chuyển với độ phân giải nanomet và dưới nanomet.