Tiếng Việt
Công trình đề xuất cấu hình giao thoa kế Michelson sửa đổi với hai nhánh tách biệt nhằm giảm sai số phi tuyến và nâng cao độ chính xác đo. Phương pháp gán tuyến tính được áp dụng để đánh giá sai số và so sánh kết quả đo. Kết quả cho thấy sai số phi tuyến đạt khoảng 20 nm trong phạm vi đo 2 µm (xấp xỉ 1%). Thành phần phi tuyến λ/2 và λ/4 lần lượt đạt 9,91 và 4,05 nm/Hz¹ᐟ². Hệ đo đạt độ nhạy dưới 0,01 nm/Hz¹ᐟ² ở tần số trên 10 Hz, cho thấy khả năng đo dịch chuyển với độ phân giải nanomet và dưới nanomet.
Hotline
0292 3824031
0292 3824031
Thêm đánh giá của bạn
Xếp hạng
Không có bài đánh giá nào!